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Sistema CVD de laboratório com forno tubular rotativo de zona dupla 1500-1500C
O sistema CVD consiste em sistema de fornecimento de gás + forno tubular + sistema de vácuo, e a temperatura máxima pode chegar a 1200 graus, 1400 graus, 1600 graus e 1700 graus. A zona de aquecimento pode ser zona de temperatura única, zona de temperatura dupla, zona de três temperaturas, etc. O vácuo final pode chegar a 10-3Pa. O sistema de fornecimento de gás pode ser medidor de vazão de massa ou medidor de vazão de flutuação para regulação de vazão. O número de canais de mixagem pode ser 2 canais, 3 canais, 4 canais e 5 canais.
Parâmetros técnicos detalhados
Modelo | 1500-1500-I 1500-1500-II |
Poder | 9KW 9KW |
Tubo | Tamanho |
Diâmetro | 60(OD) X1400 mm Diâmetro 80(OD) X1400 mm |
Fornecer | Voltagem |
380 V 380 V | Estágio |
fase dupla fase dupla | Tubo |
Tubo de corindo: AIO de alta pureza | cerâmica (incluindo) 99,5% |
Aquecimento | elemento |
Primeiro | zona de temperatura: haste de carbono de silício Segunda zona de temperatura: haste de carbono de silício |
Velocidade de rotação do tubo do forno | Com motor de velocidade variável stepless, |
a velocidade pode ser ajustada entre (1-25 RPM) | Potência do motor 40W O forno pode ser inclinado em um ângulo 0-30 graus Tipo de condução Correia dentada e engrenagem Ao controle modo Instrumento de controle de temperatura do programa UAV |
(padrão) | 1, controle de temperatura do programa de 30 estágios ajuste PID inteligente. |
2. Com proteção contra temperatura excessiva, o | circuito de aquecimento do forno é cortado automaticamente quando a temperatura é |
temperatura excessiva ou quebrada, (quando a temperatura do forno elétrico excede | 1520 graus ou o termopar está queimado, o relé AC no circuito principal |
será desconectado automaticamente, o circuito principal está quebrado. Ligado, LIGADO | A luz do painel está apagada, a luz OFF está acesa e a proteção limitada |
forno elétrico). | 3, com interface de comunicação 485 (padrão |
ao comprar software) | 4, com função de proteção de desligamento, que |
é, quando a energia é ligada depois que a energia é desligada, o programa | não começa a partir da temperatura inicial, mas a temperatura do forno |
aumenta a partir do momento da falha de energia. | 5, o medidor tem a função de auto-ajuste de temperatura |
(você precisa pagar extra para a substituição | de instrumentos importados, opcional) |
instrumento FP93 |
|
Instrumento EUROTHERM | Tela sensível ao toque |
instrumento | (shimaden, Japão) |
Material do forno
1. Alumina policristalina de alta qualidade de alta pureza
forno de cura de fibra formado por filtração a vácuo.
2. Adote a tecnologia japonesa para moldagem.
Ao controle
precisão
+/- 1℃
Acionar
Deslocamento de fase
acionar
Elétrico
utensílio
Zhejiang
chita
Silício
controlada
106/16 ESEMIKRON
o
temperatura mais alta na primeira e segunda zonas de temperatura
1500℃
Classificado
temperatura na primeira e segunda zonas de temperatura
1400℃
Aquecimento
avaliar
≤20℃/Min (pode ser modificado conforme necessário)
Recomendado
taxa de aumento de temperatura
≤10℃/Min
Par termoelétrico
S digitando o primeiro
zona de temperatura
S
digite na segunda região de temperatura
Comprimento
da seção de aquecimento na primeira e segunda zonas de temperatura
300+300mm 300+300mm
Comprimento de temperatura constante
450 mm 450 mm
Fornecimento de ar de três canais Gx-3 (misto
ar) sistema
1.1. O gás sai do cilindro, é
despressurizado através de uma válvula redutora de pressão, passa pelo tubo de PTFE
para a entrada do sistema de fornecimento de gás e, em seguida, passa pelo fluxo de massamedidor para controlar o fluxo de gás e, em seguida, passa pelo tanque de mistura de gás e
então entra na entrada do forno. 1.2. 2) | Um manômetro é conectado ao tanque de mistura de gás, e o manômetro | disco de exibição e o controlador do medidor de fluxo de prótons estão instalados no mesmo | |
painel. | 1.3. | ||
Cada linha de gás possui uma válvula de fechamento de alta pressão para segurança. | 1.4. | ||
O caminho do gás adota um medidor de fluxo de massa de gás de alta precisão e o interior do | caminho de gás é inteiramente feito de tubo de aço inoxidável, que tem boa corrosão | ||
resistência. 1.5. | Todas as juntas da caixa são conectadas por ponteiras de aço inoxidável, que possuem | boa estanqueidade ao ar e resistência a alta pressão. | |
2. Parâmetros técnicos: | Canal pneumático: 3 | ||
Controle de fluxo de gás: | Medidor de fluxo de massa. | ||
Dimensões do gabinete: | 600X600X600mm | ||
Medidor de fluxo de massa | Parâmetros técnicos: | ||
Interface: Φ6 | Exibição: LED | ||
Temperatura do ambiente de trabalho: 5~45°C | Controlador de fluxo: | ||
Parâmetros do controlador de fluxo de prótons Verifique novamente | Tubo de aço inoxidável: | ||
Φ6 fora de X Φ4 | Vácuo de pressão | ||
tabela: -0,1~0,15 MPa, 0,01 | MPa/divisão | ||
Válvula de parada: Φ6 Controle de fluxo: PLC controle inteligente | 功率 | 3. Medidor de vazão de massa | |
电压 | Parâmetros técnicos: | ||
转速 | produtos | ||
Nome: Controlador de fluxo de massa | produtos | ||
Descrição: Tipo normal, circuito analógico | 6 | ||
produtos | detalhes: Comum, circuito analógico, vedação de borracha, shunt tubular, não é fácil de | ||
quadra. Principal | indicadores: Faixa: 5, 10, 20, 30, 50, 100, 200, 300, 500 SCCM, 1, 2, 3, 5, 10 | SLM (você pode escolher o intervalo arbitrariamente) | |
• | Precisão: ±1% F.S | ||
• | Linear: 0,5% F.S. | ||
• | Repetibilidade: ±0,2% F.S | ||
• | Tempo de resposta: 1S | ||
• | Queda de pressão do ar: <0,01MPa | ||
• | Pressão máxima: 3MP | • | |
Temperatura do ambiente de trabalho: 5~45°C | • | ||
Sinais de entrada e saída: 0~+5,00V | • | ||
Potência: +15V 50mA -15V 50mA | • |
Dimensões: 158*30*110
•
Peso: 0,9 kg