Sistema CVD de laboratório com forno tubular rotativo de zona dupla 1500-1500C

Sales Sistema CVD de laboratório com forno tubular rotativo de zona dupla 1500-1500C

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Detalhes do produto  

Sistema CVD de laboratório com forno tubular rotativo de zona dupla 1500-1500C

O sistema CVD consiste em sistema de fornecimento de gás + forno tubular + sistema de vácuo, e a temperatura máxima pode chegar a 1200 graus, 1400 graus, 1600 graus e 1700 graus. A zona de aquecimento pode ser zona de temperatura única, zona de temperatura dupla, zona de três temperaturas, etc. O vácuo final pode chegar a 10-3Pa. O sistema de fornecimento de gás pode ser medidor de vazão de massa ou medidor de vazão de flutuação para regulação de vazão. O número de canais de mixagem pode ser 2 canais, 3 canais, 4 canais e 5 canais.


Parâmetros técnicos detalhados

Modelo

1500-1500-I                                                   1500-1500-II

Poder

9KW                                                                 9KW

Tubo

Tamanho

Diâmetro

60(OD) X1400 mm                                     Diâmetro 80(OD) X1400 mm

Fornecer

Voltagem

380 V                                                                     380 V

Estágio

fase dupla                                                              fase dupla

Tubo

Tubo de corindo: AIO de alta pureza

cerâmica (incluindo) 99,5%

Aquecimento

elemento

Primeiro

zona de temperatura: haste de carbono de silício                     Segunda zona de temperatura: haste de carbono de silício

Velocidade de rotação do tubo do forno

Com motor de velocidade variável stepless,

a velocidade pode ser ajustada entre (1-25 RPM)

Potência do motor

40W

O forno pode ser inclinado em um ângulo

0-30 graus

Tipo de condução

Correia dentada e engrenagem

Ao controle

modo

Instrumento de controle de temperatura do programa UAV

(padrão)


1, controle de temperatura do programa de 30 estágios

ajuste PID inteligente.

2. Com proteção contra temperatura excessiva, o

circuito de aquecimento do forno é cortado automaticamente quando a temperatura é

temperatura excessiva ou quebrada, (quando a temperatura do forno elétrico excede

1520 graus ou o termopar está queimado, o relé AC no circuito principal

será desconectado automaticamente, o circuito principal está quebrado. Ligado, LIGADO

A luz do painel está apagada, a luz OFF está acesa e a proteção limitada

forno elétrico).

3, com interface de comunicação 485 (padrão

ao comprar software)

4, com função de proteção de desligamento, que

é, quando a energia é ligada depois que a energia é desligada, o programa

não começa a partir da temperatura inicial, mas a temperatura do forno

aumenta a partir do momento da falha de energia.

5, o medidor tem a função de auto-ajuste de temperatura

(você precisa pagar extra para a substituição

de instrumentos importados, opcional)

instrumento FP93

Instrumento EUROTHERM

Tela sensível ao toque

instrumento

(shimaden, Japão)



Material do forno

1. Alumina policristalina de alta qualidade de alta pureza

forno de cura de fibra formado por filtração a vácuo.

2. Adote a tecnologia japonesa para moldagem.

Ao controle

precisão

+/- 1℃

Acionar

Deslocamento de fase

acionar

Elétrico

utensílio

Zhejiang

chita

Silício

controlada

106/16 ESEMIKRON

o

temperatura mais alta na primeira e segunda zonas de temperatura

1500℃

Classificado

temperatura na primeira e segunda zonas de temperatura

1400℃

Aquecimento

avaliar

≤20℃/Min (pode ser modificado conforme necessário)

Recomendado

taxa de aumento de temperatura

≤10℃/Min

Par termoelétrico

S digitando o primeiro

zona de temperatura

S

digite na segunda região de temperatura

Comprimento

da seção de aquecimento na primeira e segunda zonas de temperatura

300+300mm                                             300+300mm

Comprimento de temperatura constante

450 mm                                                        450 mm

Fornecimento de ar de três canais Gx-3 (misto

ar) sistema

1.1. O gás sai do cilindro, é

despressurizado através de uma válvula redutora de pressão, passa pelo tubo de PTFE

para a entrada do sistema de fornecimento de gás e, em seguida, passa pelo fluxo de massa




medidor para controlar o fluxo de gás e, em seguida, passa pelo tanque de mistura de gás e

então entra na entrada do forno.

1.2.

2)


Um manômetro é conectado ao tanque de mistura de gás, e o manômetro

disco de exibição e o controlador do medidor de fluxo de prótons estão instalados no mesmo

painel.

1.3.

Cada linha de gás possui uma válvula de fechamento de alta pressão para segurança.

1.4.

O caminho do gás adota um medidor de fluxo de massa de gás de alta precisão e o interior do

caminho de gás é inteiramente feito de tubo de aço inoxidável, que tem boa corrosão

resistência.

1.5.

Todas as juntas da caixa são conectadas por ponteiras de aço inoxidável, que possuem

boa estanqueidade ao ar e resistência a alta pressão.

2. Parâmetros técnicos:

Canal pneumático: 3

Controle de fluxo de gás:

Medidor de fluxo de massa.

Dimensões do gabinete:

600X600X600mm

Medidor de fluxo de massa

Parâmetros técnicos:

Interface: Φ6

Exibição: LED

Temperatura do ambiente de trabalho: 5~45°C

Controlador de fluxo:

Parâmetros do controlador de fluxo de prótons Verifique novamente

Tubo de aço inoxidável:

Φ6 fora de X Φ4

Vácuo de pressão

tabela: -0,1~0,15 MPa, 0,01

MPa/divisão

Válvula de parada: Φ6

Controle de fluxo: PLC

controle inteligente

功率

3. Medidor de vazão de massa

电压

Parâmetros técnicos:

转速

produtos

Nome: Controlador de fluxo de massa

produtos

Descrição: Tipo normal, circuito analógico

6

produtos

detalhes: Comum, circuito analógico, vedação de borracha, shunt tubular, não é fácil de

quadra.

Principal

indicadores: Faixa: 5, 10, 20, 30, 50, 100, 200, 300, 500 SCCM, 1, 2, 3, 5, 10

SLM (você pode escolher o intervalo arbitrariamente)

Precisão: ±1% F.S

Linear: 0,5% F.S.

Repetibilidade: ±0,2% F.S

Tempo de resposta: 1S

Queda de pressão do ar: <0,01MPa

Pressão máxima: 3MP

Temperatura do ambiente de trabalho: 5~45°C

Sinais de entrada e saída: 0~+5,00V

Potência: +15V 50mA -15V 50mA

PECVD




Tmax CE

TMAX Partner

CVD furnace


tube furnace


muffle furnace



Dimensões: 158*30*110

Peso: 0,9 kg



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