um sistema de fornecimento de gás e um sistema de fornecimento de energia de radiofrequência. Principalmente

usado para: crescimento de filmes finos metálicos, filmes finos cerâmicos, filmes finos compostos,

grafeno, etc. É fácil adicionar funções e pode expandir funções como

limpeza e gravação a plasma. O sistema PECVD tem as vantagens de alta película

taxa de deposição, boa uniformidade, alta consistência e estabilidade.

Técnico detalhado

parâmetros

Modelo

TL1600-I

Poder

5KW

Tamanho do tubo (OD) (mm)

Tubo de corindo de alta pureza: 60mm (diâmetro do tubo)

Dois tampões de forno são colocados em cada lado. o

plugue do forno pode bloquear a radiação de calor no centro do tubo do forno

e deve ser colocado na posição correta no forno antes do aquecimento.

Dimensão

1120X490X855

tensão de alimentação

220V

Estágio

Fase única

elemento de aquecimento

Barra de molibdênio de silício modelo 1800

Tipo de controle de temperatura

Usar

Instrumento de controle de temperatura do programa Yudian (padrão)

1.

Ajuste inteligente do PID do controle de temperatura do programa de 30 segmentos.

2.

Com proteção contra temperatura excessiva, o circuito de aquecimento do forno elétrico

ser cortado automaticamente quando a temperatura estiver acima da temperatura ou quando o

casal está quebrado. ON, a luz ON no painel está apagada, a luz OFF está acesa,

e o forno elétrico é protegido de forma limitada).

3.

Com interface de comunicação 485 (padrão com software opcional)

4.

Possui função de proteção contra falha de energia, ou seja, quando o forno é

ligado depois que a energia é desligada, o programa não inicia a partir do

temperatura inicial, mas começa a partir da temperatura do forno quando a energia

está fora.

5. O

medidor tem a função de auto-ajuste de temperatura

(você precisa pagar extra para a substituição de importados

instrumentos, opcional)

Instrumento FP93                             Instrumento EUROTHERM                       Tela sensível ao toque

instrumento

(shimaden, Japão)

Material da câmara

1. O material da lareira é feito de alta qualidade

fibra policristalina de alumina.

2. A superfície do forno interno é revestida com

revestimento de alumina de alta temperatura de 1800 graus importado, que pode aumentar o

emissividade e tornar o campo de temperatura mais equilibrado.

Válvulas e flanges

precisão de controle

exibição digital da tela.

Adote

bomba de vácuo VRD16

VRD16

Termo técnico

Especificação

VRD-16

Velocidade de bombeamentom³/h（L/s）

potência do motor (KW)

0,75 KW/0,55 KW

Conexão de entrada/saídaDN

KF25

controlador de fluxo é usado, consulte a parte de trás