Sistema de Vácuo com Bomba de Vácuo VRD16 para Sistema CVD

I. Visão geral

O sistema

(pode bombear o vácuo no forno tubular para 0,6Pa) consiste em um flange de sucção

(auto-fabricado) com interface KF25, método defletor de alto vácuo, vácuo de resistência

manômetro, fole, suporte (caseiro), bomba de vácuo Conecte o tubo em T na

saída do flange, conecte o silício de resistência a uma extremidade do tubo de três vias,

conecte a válvula de flapper de alto vácuo à outra extremidade, conecte o flapper

válvula e a bomba de vácuo com a ondulação de Dia25, e use o KF25 quick

braçadeira para a porta de conexão. .

2. Sistema de detecção de pressão

Resistência simples do tipo ZDR-I/ZDR-I-LED

Medidor de Vácuo

O medidor de vácuo de resistência

(também conhecido como medidor de vácuo Pirani) usa um ZJ-52T especialmente estabilizado

medidor de resistência e aplica um novo modo de operação de temperatura constante ao

poder constante. Ao mesmo tempo, o microprocessador é usado para controlar a

não linearidade do regulamento. Processamento linear. Tem as características

de desempenho estável, ampla faixa de medição, resposta rápida e pequeno desvio. E

controle de relé baseado em microprocessador poderoso e confiável, comunicação serial

saída, saída analógica de vácuo e outras funções. Particularmente adequado para

medição de vácuo bruto e baixo e controle de aplicações de vácuo.

Parâmetros técnicos:

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Regulamento de distribuição: medidor de resistência ZJ-52T

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Faixa de medição: 10 5~10 -1 Pa

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Isolamento óptico, filtragem digital, capacidade anti-interferência aprimorada.

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